Niederlande: Ausfuhrbeschränkungen für moderne Chipherstellungsmaschinen – Peking beschwert sich

Die niederländische Regierung hat die Fotolithografiesysteme TWINSCAN NXT:1970i und 1980i von ASML Anfang September auf ihre Exportbeschränkungsliste gesetzt und damit ihre Regeln an die von den Vereinigten Staaten im letzten Jahr einseitig auferlegten Regeln angepasst. Wie die USA begründeten auch die Niederlande ihre Entscheidung mit Sicherheitsrisiken im Zusammenhang mit dem „aktuellen geopolitischen Kontext“.

Laut ASML müsse das Unternehmen für den Export der Systeme jetzt eine Exportlizenz bei der niederländischen Regierung und nicht mehr bei der US-Regierung beantragen.

Bei der Bekanntgabe der Regeln am 6. September sagte die niederländische Regierung, dass die Maschinen in Kombination mit Technologien aus anderen Ländern verwendet werden könnten, um Halbleiter zu produzieren, „die wiederum eine wichtige Rolle in fortschrittlichen militärischen Anwendungen spielen können“.

„Ein unkontrollierter Export der Anlagen hat daher Konsequenzen für die niederländischen Sicherheitsinteressen“, erklärte das Ministerium.

Als Reaktion auf die neuen Beschränkungen erklärte ein Sprecher des chinesischen Handelsministeriums, Peking sei „unzufrieden“ über die erweiterten Beschränkungen und beschuldigte die Vereinigten Staaten, Länder zu einer Verschärfung ihrer Exportbeschränkungen für fortschrittliche Halbleiter und damit zusammenhängende Ausrüstungen zu „zwingen“.

Peking: USA versuche globale „Hegemonie“ aufrechtzuerhalten

Das Ministerium behauptete, die Vereinigten Staaten hätten das Konzept der nationalen Sicherheit ständig erweitert, um ihre globale „Hegemonie“ aufrechtzuerhalten. Die Rhetorik der „Hegemonie“ ist ein wiederkehrendes Thema in Pekings ständigen Versuchen, sein Regierungssystem als Alternative zu der auf Regeln basierenden internationalen Ordnung darzustellen, die von den liberal-demokratischen Vereinigten Staaten und ihren Verbündeten angeführt wird.

Während der Trump-Regierung begannen die Vereinigten Staaten, Japan und die Niederlande zu drängen, den Verkauf von hochwertigen Chipfertigungsanlagen an chinesische Unternehmen zu stoppen. Die Trump-Regierung setzte auch den chinesischen Telekommunikationsriesen Huawei und den Halbleiterhersteller SMIC auf die Boykottliste.

Im Jahr 2022 unterzeichnete die Biden-Regierung den CHIPS and Science Act, mit dem weitere Beschränkungen für die Ausfuhr von hoch entwickelten Chips nach China eingeführt wurden. Außerdem wurden die Beschränkungen 2023 aktualisiert, um verbleibende Schlupflöcher zu schließen.

Monopol in der Chiplithografie

ASML hat ein faktisches Monopol auf die Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV), eine Technologie, bei der extrem kurzwelliges UV-Licht (13,5 Nanometer Wellenlänge oder weniger) für die Chipproduktion verwendet wird.

Dies ermöglicht die Herstellung kleinerer und komplexerer Halbleiterbauelemente. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist ungefähr 70.000 Nanometer breit.

Zudem ist das niederländische Unternehmen führend in der Tief-Ultraviolett-Immersionslithografie (DUV), die Licht der Wellenlänge bis 193 Nanometer nutzt.

Auf Druck der USA hat die niederländische Regierung ASML nie erlaubt, seine besten EUV-Werkzeuge an Kunden in China zu liefern. Seit September 2023 muss ASML außerdem Exportlizenzen einholen, wenn das Unternehmen seine modernsten DUV-Anlagen außerhalb der Europäischen Union verkaufen will.

Die beiden Systeme, die am 6. September in die Liste der Exportbeschränkungen aufgenommen wurden, befinden sich im mittleren Bereich der Produktpalette von ASML. Sie waren bereits in den im Oktober 2023 angekündigten US-Vorschriften aufgeführt, die den Verkauf der Anlagen mit dem Argument einschränkten, dass sie einige US-Teile enthalten.

Das Interesse an den 1980i- und 1970i-Maschinen folgt auf den Erfolg chinesischer Unternehmen wie SMIC, die fortschrittliche Chips herstellen, indem sie Siliziumwafer mehrmals von solchen DUV-Werkzeugen belichten lassen, ein Verfahren, das als „Multi-Patterning“ bekannt ist.

Schlechte chinesische Ergebnisse

Auf einer Veranstaltung in New York am 4. September sagte der CEO von ASML, Christophe Fouquet, dass die in China ansässigen Chiphersteller in der Lage seien, mit DUV-Werkzeugen Chips auf dem 7-nm-, 5-nm- und schließlich 3-nm-Technologieniveau zu produzieren. Das unterlaufe die von Washington gesetzten Grenzen.

Allerdings würden die Chiphersteller, die diese Technik verwenden, so schlechte Ergebnisse erzielen, dass sie wirtschaftlich unrentabel seien. Die Vorgehensweise diene lediglich der Demonstration technischer Fähigkeiten, sagte er.

Dieser Artikel erschien im Original auf theepochtimes.com unter dem Titel „Beijing Complains as Netherlands Restricts Exports of Advanced Chipmaking Machines“. (deutsche Bearbeitung jw)